1950年，高效微粒空氣過濾器（HEPA）問世，成為潔凈技術發展史上的第壹個裏程碑。
20世紀50年代，美國根據精密機械和電子工業的需要開發了汙染控制技術。在朝鮮戰爭中，雷達設備的故障率高達70%-80%，應用潔凈空氣技術後，故障率下降到5%-8%。
1957年前蘇聯首次成功發射人造衛星，刺激美國加快發展航空航天工業，同時也加快了相關控制標準的制定。
1961年，層流（單向流）潔凈室誕生。世界上第壹個潔凈室標準--美國空軍第203號技術令形成。
1963年，美國發布了第壹個潔凈室軍用部分的聯邦標準209。
1966年，美國發布了修訂後的聯邦標準209A。
1967年，美國發布了美國航空航天探索局（Aerospace Exploration Agency）標準，通常稱為生物潔凈室標準。
1965年以前，該標準主要用於航空航天工業，1968年以後，壹些醫院開始使用該標準。
1973年，美國頒布了修訂後的聯邦標準209B。
20世紀80年代後，美國和日本相繼研制成功過濾對象為0.1μm、捕獲效率達99.99%的新型超高效過濾器。最終建成了0.1μm 10級和0.1μm 1級的超高潔凈室，這使得潔凈技術的發展進入了壹個新的時期。
GMP（藥品生產質量管理規範）最初由美國坦普爾大學的六位教授提出，並於1963年由美國國會首次頒布。
1974年，日本政府頒布了GMP，以指導其實施。
1975年，世界衛生組織（WHO）正式公布了GMP，1977年，GMP再次被推薦給各成員國，並被確定為WHO的壹項法規。
1978年，美國再次頒布修訂後的GMP。
1980年，日本決定正式實施GMP。
在我國，潔凈空氣技術的研究始於20世紀60年代中期，20世紀70年代末，我國的GMP受到各方關註。
1984年，《潔凈廠房設計規範》（GBJ73-84）頒布，2002年修訂（GB50073-2001）。
1990年，發布《潔凈廠房施工及驗收規範》（JGJ71-90）。
1997年，國家藥品監督管理局發布了《制藥工業潔凈廠房設計規範》（GMP-97），並於2008年進行了修訂（GB50457-2008）。
1998 年，國家藥品監督管理局頒布了《藥品生產質量管理規範》（GMP-98）。
ISO 14644 潔凈室和相關受控環境
ISO 14698-1 生物汙染控制--壹般原則
ISO 14698-2 生物汙染數據的評估和解釋 ISO 14698-3 生物汙染控制--清潔和滅菌過程中測量惰性表面效率的操作方法（生物汙染濕汙漬或生物膜表面）