依據美國政府頒布的標準,可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級:
1級這個級別的無塵車間主要是用來制造壹些集成電路的微電子工業,而相對於集成電路的精確要求是亞微米。
10級本級別的潔凈室最主要是來加工寬少於2微米的半導體工業。
100級很多人都覺得100級的無塵車間是最常用的,也是最重要的,人們錯誤的認為100級的潔凈室,是為了說明無菌環境的要求比較高。壹般來說100級的無塵室是用來對於醫藥工業的無菌制造,大程度上用在外科手術上,就像它可以用在骨髓移植病人術後的隔離治療。
1000級壹般用來生產比較高質量的光學產品。
10000級萬級無塵車間很大程度上是用來對液壓設備或者是積壓設備的裝配。當然,在有些時候也會用在食品飲料工業,同時在醫工業也很常見。
100000十萬級的無塵車間,在很多工業部門都會用到,就像在制造光學產品的時候,有時候也用在比較小的元器件的制造。當然,食品飲料的加工,醫藥工業的生產也會用到這壹級的無塵車間。
所謂的無塵車間是壹個人造的環境,裏面含有的粒子遠低於壹般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小於1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。 由於奈米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。
越排在前面,級別越高,1級是級別最高的,最常見的是百級到十萬級。無塵車間的使用要求:保持無塵車間的潔凈度,進出的人員有壹定的穿著規定;10000與100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,並帶上手套和面罩。
參考資料:
無塵車間-百度百科