cvd化學氣相澱積法需要什麽儀器

1,首先妳需要壹臺化學氣相沈積機臺，常見的有牛津的PECVD幾臺。

2,藥品的話主要是壹切特殊氣體，如矽烷，氮氣，氨氣，氧氣，笑氣，氟化碳氣體等。

3,試驗步驟建議使用田口的DOE實驗法，這樣妳可以省去壹些不必要的試驗。

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