真空系統由真空爐蓋、真空泵、真空排氣管道和除塵設備組成。在抽真空管道上設置空氣或氮氣入口，以調節爐內真空度或在精煉處理結束時充氣破壞真空。真空爐蓋頂部設有抽真空的排氣口和窺視孔，與鋼包口的連接處設有密封的水冷黃化裝置和真空爐蓋升降機構。真空泵采用多級蒸汽噴射泵。
加料裝置在爐蓋和真空蓋上分別設有造渣劑和合金入口。爐蓋或真空蓋上部裝有料鬥，用電子秤稱重的爐料通過溜槽和加料口進入鋼包爐。為了冶煉超低碳不銹鋼，真空爐蓋的垂直中心開有供氧槍升降的孔，以便向鋼水吹氧降碳。
精煉過程包括排渣、加熱、氬氣攪拌、爐渣成分調整、鋼水成分調整、真空處理和保溫。初煉鋼液的質量關系到精煉爐能否順利達到精煉目的。因此要求初煉鋼液磷含量低於0.015%，初煉鋼爐出鋼時進行不同程度的終脫氧。