等離子體按溫度可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩類。當溫度高達106-108K時，氣體中的所有原子和分子都完全離解電離，稱為高溫等離子體；當溫度低於105K時，氣體部分電離，稱為低溫等離子體。
在實際應用中，低溫等離子體又分為熱等離子體和冷等離子體。當氣體壓力在 1.013X105Pa（相當於1個大氣壓）左右時，粒子密度較大，電子濃度高，平均自由程小，電子與重粒子之間碰撞頻繁，電子從電場中獲得的動能迅速轉移到重粒子上，使各種粒子（電子、正離子、原子、分子）發生碰撞、正離子、原子、分子）的熱運動能量趨於匯聚，整個氣體進入或達到熱力學平衡狀態，此時，氣體溫度與電子溫度基本相等，溫度約為幾千度到幾萬度，這種等離子體稱為熱等離子體。例如，直流等離子體火焰（DCP）和電感耦合等離子體火炬（ICP）等都屬於熱等離子體。屬於熱等離子體時，如果放電氣體壓力較低，電子濃度較小，電子與重粒子碰撞的機會較少，來自電場的電子動能不易與重粒子產生交換，它們之間的動能相差很大，電子的平均動能可達幾十個電子伏特，而且氣體溫度較低，因此等離子體處於非熱力學平衡體系，稱為冷等離子體，如格林輝光放電、空心陰極燈放電等。
在光譜分析中所謂等離子體光源，通常是指外觀類似火焰的壹類放電光源。目前最常用的有三種：即電感耦合等離子體炬（ICP）、直流等離子體焰（DCP）和微波感應等離子體炬（MIP）。就 MIP 而言，雖然它可以微量進樣、耗氣量小、功率低、易於測定非金屬，但它對大多數金屬的檢出限較低，元素間幹擾嚴重，而且需要氦氣，因此主要用作色譜分析的檢測器。
ICP和DCP這兩種分析性能較好的等離子體光源已應用於原子發射光譜儀。
電感耦合等離子體原子發射光譜（ICP-AES）技術的先驅是 Greenfiald 和 Fasel，他們於 1964 年發表了研究成果。70 年代後，該技術取得了真正的進展，1974 年，美國的 Leeman 研發出第壹臺商用電感耦合等離子體原子發射光譜儀。
ICP 源的主要優點是：
1)?檢測限低：許多元素的檢測限為 1ug/L
2)?測量動態範圍廣：5-6 個數量級
3）?精度高
4）?基體效應小：ICP 采用的是 6000-7000K 的高溫激發光源，樣品經過化學處理後，分析標準系列非常容易配制，與樣品溶液中的酸度、基體成分、總鹽度等性質非常相似的溶液。同時，高能量密度的光源、特殊的激發環境-通道效應和激發機理，使 ICP 光源具有基體效應小的突出優點。
5)?精度高：RSD~0.5%
6)?曝光時間短：壹般僅需 10-30 秒
7）?原子發射光譜法具有同時分析多種元素的特點，與其他分析方法對每種元素進行單獨測定相比，在效率、經濟、技術等方面都有很大的特點。這也是 ICP 原子發射光譜法取得長足進步的原因之壹。