空氣從空調箱通過潔凈室的風管和空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，由潔凈室兩側的隔斷墻板或活動地板返回。氣流以非線性方式運動，並處於不規則的湍流或渦流狀態。此類型適用於潔凈室等級1，000-100，000。
定義:氣流速度不均勻且有回流或渦流的非平行潔凈室。
特點:亂流潔凈室依靠多次換氣來達到潔凈度和潔凈度級別。換氣次數決定了定義中的凈化級別(換氣次數越多，凈化級別越高)。
(1)自凈時間:指潔凈室開始按設計換氣次數送風，室內粉塵濃度達到設計凈化水平的時間。1000級別預計小於20min(按15min計算)，10000級別預計小於30min(按25min計算)，100000級別預計小於40min(按30min計算)
⑵換氣次數(按上述自凈時間要求設計)1000級43.5-55.3次/小時(規格:50次/小時)10000級23.8-28.6次/小時(規格:25次/小時)100。
優點:結構簡單，系統建設成本低，潔凈室易於擴展。在壹些特殊用途的場所，無塵工作臺可以配合使用，提高潔凈室的等級。
缺點:亂流造成的室內空間漂浮的塵粒不易排出，容易汙染工藝產品。此外，如果系統停止運行並重新啟動，往往需要很長時間才能達到所需的清潔度。
層流
層流氣流運動成均勻的直線，空氣通過覆蓋率為100%的過濾器進入室內，由活動地板或兩側隔墻板返回。這種類型適合在潔凈室級別需要較高的環境中使用，壹般潔凈室級別為1~100級。其類型可分為兩種:
(1)水平層流:水平空氣從過濾器向壹個方向吹出，由對面墻上的回風系統送回，粉塵隨風排出室外，壹般在下遊側汙染較重。
優點:結構簡單，術後短時間內穩定。
缺點:建設成本比紊流高，室內空間不易擴展。
⑵垂直層流:房間天花板全覆蓋ULPA過濾網，空氣自上而下吹，可獲得高度潔凈，過程中或工人產生的粉塵可快速排出室外，不影響其他工作區域。
優點:易於管理，運行開始後短時間內即可達到穩定狀態，不易受運行狀態或運行人員的影響。
缺點:造價高，靈活使用空間困難，吊頂上的吊架占用空間大，維護更換濾網比較麻煩。
組合式
復合型是將湍流和層流結合或使用，可以提供局部超凈空氣。
⑴潔凈隧道:100%的工藝區域或工作區域覆蓋有HEPA或ULPA過濾器，以提高潔凈度等級至10以上，可節省安裝和運行費用。
這種類型需要將操作者的工作區域與產品和機器維修隔離，以避免在機器維修期間影響工作和質量。這種類型多用於ULSI工藝。
clean tunnel還有另外兩個優點:a .易於靈活擴展；b .設備維護可在維護區輕松進行。
⑵清潔管道:圍繞產品流經過的自動化生產線進行凈化，將清潔度提升到100以上。由於產品與操作者及產塵環境隔離，少量送風即可獲得良好的潔凈度，可節約能源，最適合無人工自動生產線使用。適用於制藥、食品和半導體行業。
⑶安裝局部清潔點:將潔凈室級別為10，000~100，000的紊流潔凈室中的產品工藝區的潔凈度提高到10~1000以上進行生產；潔凈工作臺、潔凈工棚、潔凈空氣櫃都屬於這壹類。
潔凈工作臺:等級1~100。
潔凈工作棚:為了用抗靜電透明塑料板將亂流潔凈室空間中的壹個小空間圍起來，采用獨立的HEPA或ULPA和空調風機機組，成為壹個比較高級的潔凈空間，等級為10~1000，高度約2.5米，覆蓋面積約100 m2。四柱配有活動輪，可以靈活使用。