無塵車間可分為以下等級:壹級、壹百級、壹千級、萬級、十萬級、三十萬級、百萬級。
每立方米0.5微米以下的細小粉塵控制在3500個以下,達到國際無塵標準a級。目前,芯片級生產加工采用的無塵標準對粉塵的要求比a級更高,這種高標準主要應用於壹些更高級別的芯片生產。細塵量嚴格控制在每立方米1000個以內,在行業內也被稱為千分之壹。
無塵車間地址的選擇應遵循有利生產、方便生活、節約投資和運營成本的原則。 無塵車間與主要交通道路的距離應在 50 米以上。
廠址應選在自然環境和水質良好,大氣粉塵濃度低,地形、地貌、地貌造成的小氣候有利於生產和節能的地區。應遠離排放大量灰塵、煙霧、有毒氣體和微生物的區域。 ,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,對汙染源上風側和全年主導風向有壹定的防護距離。
消除壹定空間內空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等汙染物,將室內溫度、清潔度、室內壓力、風速和氣流分布、噪聲、振動、照明、靜電等控制在壹定需求範圍內,並給了壹個特別設計的房間。
即無論外界空氣條件如何變化,房間都可以保持原來設定的潔凈度、溫度、濕度和壓力要求。
與擴散作用類似,當濾材帶靜電時(駐極體材料),粉塵在濾材中停留的時間越長,被材料吸附的可能性就越大。改變風速會顯著改變帶靜電材料的過濾效率。如果知道材料上有靜電,在設計空調系統時應盡可能減少通過每個過濾器的空氣量。
對於以慣性機制為主的大顆粒粉塵,根據傳統理論,風速降低後,粉塵與纖維碰撞的概率降低,過濾效率也相應降低。但在實踐中,這種效果並不明顯,因為風速越低,纖維對粉塵的反彈力也越小,粉塵越容易被卡住。