潛在誤差變量控制法是在結構方程模型中加入* * *同法偏差作為潛在變量。如果包含方法偏差這壹潛在變量時，模型的顯著擬合程度較好，則檢驗* * *同方法偏差的效果。
包含* * *具有相同方法偏差的潛在變量的模型控制* * *相同方法偏差，用於預測和標準變量之間關系的估計。因為這個過程也是基於因子分析的，所以在用同樣的方法偏差潛變量添加* * *的模型時要註意兩個問題。
影響是壹樣的。
因為* * *同法偏差對每個被觀測變量的影響是壹樣的，所以* * *同法偏差潛變量到被觀測變量的路徑系數是壹樣的，應該設置成同壹個字母。其次，為了正常擬合模型，需要對* * *同法偏差潛變量設置壹個限制條件，我們將* *同法偏差潛變量的方差設置為1。
然後導入數據，運行並檢查擬合結果，比較兩個模型的相關擬合指標，並對結果進行解釋。將* * *加入同法偏差的潛在變異後，擬合指標變好，如CFI和TLI增加0.1以上，而RMSEA和RMR減少0.05以上，說明存在顯著的* * *同法偏差。