等離子體按溫度可分為高溫等離子體和低溫等離子體。當溫度高達106-108K時，所有氣體的原子和分子完全解離電離，稱為高溫等離子體。當溫度低於105K時，氣體部分電離，稱為低溫等離子體。
在實際應用中，低溫等離子體分為熱等離子體和冷等離子體。當氣壓約為1.013X105 Pa(相當於1個大氣壓)時，粒子密度高，電子濃度高，平均自由程小，電子與重粒子碰撞頻繁，電子從電場中獲得的動能迅速轉移到重粒子上，使各種粒子(電子、正離子、原子、分子)。例如，DC等離子體射流(DCP)和電感耦合等離子體炬(ICP)都是熱等離子體。如果放電氣壓低，電子濃度低，電子與重粒子碰撞的機會就少，電子從電場獲得的動能也不容易與重粒子交換。它們之間的動能差別很大，電子的平均動能可以達到幾十電子伏，而氣體溫度較低。這種等離子體處於非熱力學平衡體系，稱為冷等離子體，比如Grimm。
在光譜分析中，所謂等離子體光源通常是指壹種看起來像火焰的放電光源。目前最常用的有三種:電感耦合等離子炬(ICP)、直流等離子炬(DCP)和微波誘導等離子炬(MIP)。對於MIP來說，雖然允許微量進樣，耗氣量小，功率低，容易測定非金屬，但對於大部分金屬，檢出限差，元素間幹擾嚴重，需要氦氣，所以主要作為色譜分析的檢測器。
ICP和DCP兩種等離子體光源具有良好的分析性能，已應用於原子發射光譜儀。
電感耦合等離子體原子發射光譜(ICP-AES)技術的開創者是Greenfiald和Fasel，他們分別在1964發表了自己的研究成果。70年代以後，這項技術取得了真正的進展。1974年，美國Leeman公司研制出第壹臺商用電感耦合等離子體原子發射光譜儀。
ICP光源的主要優點是:
1)?檢出限低:許多元素可達到1ug/L的檢出限。
2)?寬動態測量範圍:5-6個數量級。
3)?良好的準確性
4)?基體效應小:ICP為6000-7000K的高溫激發光源，樣品經過化學處理，因此分析用標準系列可以很容易地配制成與樣品溶液在酸度、基體組成、總鹽度等性質上非常相似的溶液。同時，光源的高能量密度和特殊的激發環境——通道效應和激發機制，使得ICP光源具有小矩陣效應的突出優勢。
5)?高精度:相對標準偏差約為0.5%
6)?曝光時間短:壹般只有10-30秒。
7)?原子發射光譜法具有同時分析多種元素的特點。與其他分析方法相比，它在效率、經濟和技術方面都有很大的特點。這也是ICP原子發射光譜法取得巨大進步的原因之壹。