1. 光、x射線、y射線照射：電離所需要的能量由光、x射線、y射線提供。放電的起始電荷是電離生成的離子。這種電離形成的電荷密度壹般極低。
2. 放電：通過從直流到微波的所有頻率帶的放電可以產生各種不同的電離狀態。
3. 燃燒：是通過燃燒使氣體發生熱電離的方法。火焰中的高能粒子相互碰撞發生電離稱之為熱電離。另外，特定的熱化學反應所放出的能量也能引起電離。
4. 沖擊波：氣體急劇壓縮形成的高溫氣體，發生熱電離生成等離子體。
5. 激光照射：激光照射可使物質蒸發電離。這需要大功率的激光。
6. 堿金屬蒸汽與高溫金屬板的接觸：使堿金屬蒸汽與高溫金屬板接觸生成等離子體。當氣體接觸到具有比電離能大的功函數的金屬時則發生電離。堿金屬蒸汽的電離能小，故容易發生電離。
電離生成的電子、正離子壹般在短時間內又會再結合，回到中性原子或分子狀態。此時，電子、正離子所具有的壹部分能量就以電磁波、再結合粒子的動能、或者分子的離解能的形式被消耗。分子離解時往往生成自由基。而壹部分電子與中性原子、分子接觸，又生成負離子。因此，等離子體是電子，正、負離子，激發態原子、分子以及自由基混雜的狀態。