制藥廠工業廢氣治理方案的幾個基本要素：
根據廢氣成分（是否含有水分、固態物、油狀物，及處理難易程度）、濃度高、低、排放形式選擇處理方案。
以下情況適合選擇等高溫離子焚燒廢氣處理方案：
有機物含量較高、成分復雜、易燃易爆、較難分解物質，含有顆粒物、油狀物、連續大劑量排放的工業廢氣。
高溫等離子焚燒技術是高頻（30KHz）高壓（10萬伏）大功率電源在特定條件下的聚能放電。工業廢氣處理在反應器中由常溫上升至3千度高溫，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機汙染成分瞬間被電離並完全裂解。經高溫等離子焚燒處理，工業廢氣中有機物裂解成為單質物質。