1首先妳需要壹臺化學氣相沈積機，比如牛津的幾臺PECVD機。2、藥物主要是所有特殊氣體，如矽烷、氮氣、氨氣、氧氣、壹氧化二氮、氟碳氣體等。3.實驗步驟建議使用田口的DOE實驗方法，這樣可以省去壹些不必要的實驗。化學氣相沈積過程中有化學反應，很多材料相互反應生成新的材料。
物理氣相沈積沒有化學反應，只是材料的形狀發生了變化。
物理氣相沈積技術具有工藝簡單、改善環境、無汙染、耗材少、成膜均勻致密、與基底結合牢固等優點。缺點:膜基結合力弱，塗層不耐磨，有方向性。
化學雜質很難去除。優點:可根據需要制作金屬膜、非金屬膜、多元合金膜，成膜速度快，衍射性能好。