超純水可用作生理學、病理學、毒理學實驗用水。超純水可用於清洗高壓變壓器。超純水可用作分析試劑和藥物配置的稀釋水。超純水可用於生物、制藥、石油等領域。超純水用於電子、電力、電鍍等領域。超純水用於化工、化妝品、玻璃制品等領域。
超純水可用作生理、病理、毒理實驗用水，超純水可用於高壓變壓器清洗，超純水可用作分析試劑和藥品配置的稀釋用水。超純水可用於生物、制藥、石油等領域。超純水可用於電子、電力、電鍍等領域。超純水用於化學工藝、化妝品和玻璃制品等領域。
超純水制備
超純水是為開發超純材料（半導體原始材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子、反滲透技術或其他適當的超臨界精細技術生產的水，其電阻率大於 18MΩ * cm，或接近 18.3MΩ * cm 極限值（25°C）。簡單地說，這就是除去了氧和氫以外幾乎所有原子的水。
這類水是壹般工藝難以達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再通過串聯混合交換樹脂柱對二級反滲透水進行處理，但交換樹脂再生不方便，質量難以保證。在原子光譜、高效液相色譜、超純物質分析、痕量物質等某些實驗中，需要超純水，超純水的制備方法如下：
在水源中加入少量高錳酸鉀，用玻璃蒸餾裝置進行二次蒸餾，再用全石英蒸餾器蒸餾，收集在石英容器中，即可得到超純水。使用強酸型陽離子和強堿型陰離子交換樹脂柱的混床或串聯柱。水中的陽離子和陰離子可被完全去除，其電阻率可達 10Q-cm 的水，俗稱去離子水，再用全石英蒸餾器蒸餾，收集於超純水中。