輻射滅菌是指將滅菌物品置於合適的放射源輻射的γ射線或合適的電子加速器產生的電離輻射的電子束中，以殺滅微生物的方法。未受輻射損傷的醫療器械、容器、生產輔助工具、原料和成品均可采用此方法滅菌。
幹熱滅菌是指將物品置於幹熱滅菌櫃、隧道滅菌器等設備中，利用幹熱空氣殺滅微生物或消除熱原的方法。適合高溫，但不適合濕熱滅菌。
已滅菌的物品，如玻璃器皿、金屬容器、纖維制品、固體試劑和液體石蠟，都可以用這種方法滅菌。
濕熱滅菌是指將物品置於壓力蒸汽滅菌器中，噴射過熱水，使微生物細胞中的蛋白質和核酸變性，殺滅微生物的方法。該方法殺菌能力強，是熱力殺菌中最有效、應用最廣泛的殺菌方法。
過濾除菌是利用細菌不能通過致密、空的濾料的原理，去除氣體或液體中微生物的方法。通常用於對熱不穩定的藥物溶液或原料進行滅菌。
臭氧殺菌法，臭氧是壹種強氧化劑，殺菌過程屬於生化氧化反應。
氣體滅菌是指用化學消毒劑形成的氣體殺滅微生物的方法。常用的化學消毒劑有環氧乙烷、氣態過氧化氫、甲醛、臭氧(O3)等。該方法適用於對在氣體中穩定的物品進行滅菌。使用氣體滅菌時，應註意滅菌氣體的易燃性、爆炸性、致畸性和殘留毒性。
氣體滅菌法中最常用的氣體是環氧乙烷，它殺菌力強，殺菌譜廣，能殺滅包括細菌芽孢在內的各種微生物，屬於滅菌劑。壹般是混合80%~90%的惰性氣體，在充滿滅菌氣體的高壓室內進行。
環氧乙烷不會損傷滅菌物品，穿透力強，壹般可用於醫療器械、塑料制品等不能高溫滅菌的物品的滅菌。例如電子儀器、光學儀器、醫療器械、書籍、文件、毛皮、棉花、化纖、塑料制品、木制品、陶瓷和金屬制品、內窺鏡、透析器和壹次性醫療用品等。環氧乙烷也是目前最重要的低溫滅菌方法之壹。尤其是含氯的物品和能吸附環氧乙烷的物品，不宜用環氧乙烷滅菌。
使用環氧乙烷滅菌時，滅菌櫃內的溫度、濕度、滅菌氣體濃度和滅菌時間是影響滅菌效果的重要因素。