直線加速器的原型概念最早是由英國科學家G .伊辛在1924年提出的。1924年，他在壹篇題為《產生高電壓的運河射線法原理》的文章中提出了直線加速器的設計模式。根據G.Ising的文章，直線加速器由壹根直真空管和壹系列帶孔的金屬漂移管組成。粒子的加速由相鄰漂移管之間的脈沖電場完成，電場與粒子的同步由電壓源與相應漂移管之間傳輸線長度的時間延遲實現。同時，他在文章中寫道:“現在討論實現這壹想法的細節和可能遇到的困難還為時過早。我希望很快能做壹個實驗。”這個提議在當時真的很難實現，因為電磁技術的限制。但是，這個概念相當重要，對直線加速器的發展產生了裏程碑式的影響。1928年，直線加速器的概念由德國科學家RolfWideroe正式提出，他完成了世界上第壹臺直線加速器。R.Wideroe在《產生高壓的新原理》壹文中描述了這種加速器的原理。與G.Ising的想法不同，加速器的漂移管是高頻電源和接地交替連接的。轉移管的長度隨著顆粒速度的增加而變長，保證了顆粒每次都能在合適的時間到達間隙並被加速。在這種加速器中，束首先形成束團，然後高效率地加速。在加速時間內，束流處於加速間隙來感受加速電場。電場反向時，束流在漂移管中，然後漂移管屏蔽減速電場，從而使整個過程成為加速過程。
1928 E. Videro提出加速原理。早期用低頻交變電場加速帶電粒子，1946後用射頻微波加速帶電粒子。當微波輸入圓柱形金屬空心管(波導)時，可以激發出各種模式的電磁波，其中壹種模式沿軸向的電場分量較大，可以用來加速帶電粒子。為了使沿軸運行的帶電粒子始終處於加速狀態，要求波導中電磁波的相速度降低到與加速粒子的運動同步，這可以通過在波導中以壹定間隔放置帶圓孔的光闌或漂移管來實現。電子的質量非常小，只有幾萬億電子伏。
中國科學院高能物理研究所35MeV質子直線加速器加速腔能量時，電子速度接近光速，帶圓孔的光闌裝置適合加速電子。質子或離子質量大，速度低，經常使用帶有漂移管的裝置。1966建造的斯坦福電子直線加速器，管長3050米，電子能量22 GeV，脈沖電子流強度約80 mA，平均電流強度48微安。
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