1.過氧化合物
已經發現並且能夠合成的無機過氧化合物，包括過氧化物、超氧化物、臭氧化物、過氧酸、過氧絡合物等十多個種類，它們各有不同的結構、形成機理及化學、物理性質和化學反應能力。無機過氧化合物主要以氧化劑和供氧源的形式獲得實際應用。
2.雙氧水--危險的液體產氧劑
雙氧水是過氧化合物最基本的物質，具有產氧量大（30%的稀釋液中，有效氧含量14.1%）和成本較低的好處。在以雙氧水作為制氧劑時，制氧器中盛放雙氧水和進行化學反應的空間裏面，在雙氧水的液面上必然有壹部分空氣存在。只要液面中有雙氧水存在，氣箱中的雙氧水蒸汽就不可避免的永遠存在。故沒有經過徹底的凈化，給用戶造成的傷害是顯著的。所以，雙氧水作為產氧劑存在隱患甚多，尤其不適於家用。
3.固體化學產氧劑
通過堿金屬氯酸鹽的熱分解以生成氧氣，目前，常用作產氧劑的化學物質有：
（1）過氧化鋰（Li2O2）是產氧量較高的壹種過氧化物，能夠釋放出的氧為自重的34.8%。它極易溶解於水，生成相應的堿和過氧化氫（雙氧水），並產生熱；過氧化氫遇熱即產生氧氣。
（2）過氧化鈉（Na2O2）產氧量為自重的20.5%，遇潮濕空氣和二氧化碳即反應放出氧氣。過氧化鈉也可以與氯酸鹽或高氮酸鹽混合，制成“氧燭”，作為應急氧源使用。
（3）過氧化鈣（CaO2）可釋放出自重22.2%的氧氣。壹般采用添加酸類物質的辦法把它用作緊急氧源。
（4）過氧化鋇（BaO2）的產氧量為自重的9.4%，難溶於水，過氧化鋇對人體呼吸有害，故在空氣中的允許濃度為0.5mg/m3。
（5）過氧化尿素[CO(NH2)·2H2O]也可在加熱至80攝氏度時釋放出氧氣。
（6）超氧化鉀（KO2）是超氧化物中產氧量較高的，可釋放出自重33.8%的氧，是常用的產氧劑。
（7）過氧水合碳酸鈉（2Na2CO3·3H2O2）為化學性質平和的無機化合物。它的含氧量較高，穩定性較強，無毒性和腐蝕性，價格也比較適中，是家用安全制氧劑的首選原料。
初中教材中制氧方法(未配平)
KMnO4 加熱 K2MnO4 + MnO2 + O2↑
KClO3 加熱，二氧化錳（催化劑） KCl + O2↑
H2O2 二氧化錳(催化劑) H2O + O2↑
我自己家用的制氧劑是過氧水合碳酸鈉，在淘寶上買的，和氧立得A2000用的制氧劑是壹樣的，
在二氧化錳催化作用下生成水+碳酸鈉+氧氣。